●標準仕様
| 機種／項目 | 電源 （Ｖ） |
風量 （m3/min） 50/60Hz |
公称出力 （w） |
外径寸法 （mm） |
製品重量 （kg） |
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| 幅 | 高さ | 奥行 | |||||
| CR-60 | 三相200 | 60 | 560 | 1000 | 1900 | 600 | 130 |
クリーン度と室内空気循環回数の関係について
クリーン度と室内空気循環回数との関係を下記に示します。
●簡易表（作業者密度と循環回数）
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クラス1000
|
クラス10000
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クラス100000
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||||||
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A
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AA
|
AAA
|
A
|
AA
|
AAA
|
A
|
AA
|
AAA
|
|
|
0.001 0.002 0.004 0.006 0.008 0.01 0.02 0.04 0.06 0.08 0.1 0.2 |
20
20 23 36 48 60 130 250 |
20
20 25 36 48 60 130 250 |
25
27 33 42 50 60 130 250 |
20
20 20 20 20 20 20 23 30 48 62 130 |
20
20 20 20 20 20 20 25 36 48 62 130 |
25
25 25 25 25 25 27 33 40 50 62 130 |
20
20 20 20 20 20 20 20 20 20 20 20 |
20
20 20 20 20 20 20 20 20 20 20 20 |
22
22 22 22 22 22 22 22 22 25 27 28 |
※米国連邦規格により循環回数は２０回/ｈ以上と定められています。
●クリーンルームの能力分類表
| 能力クラス |
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| AAA | １０分後に目標値の８０％に到着 | 高性能で、非作業時 目標清浄度の１/１０となる。 高価である。 |
| AA | ２０分後に目標値の８０％に到着 | 標準的性能である。 |
| A | ３０分後に目標値の８０％に到着 | 発塵量が少ないときに用いられる。 安価である。 |
※文献（クリーンルームハンドブック）
クリーンルームに必要な外気風量の決定
Q=Q1+Q2+Q3
| Q1 | 作業者に必要な新鮮な空気量 |
|---|---|
| Q2 | 室内を陽圧に保つための風量 |
| Q3 | 強制排気風量 |
|
Q1 は普通空調より少々多く、半導体工業を基準として、30m³/h・人とする。
ただしQ2+Q3の合計がQ1より多ければQ1は除外してもよい。 |
|
Q2はクリーンルームの密閉室では非常に少なく、普通は室容積に対して0.5〜2回/hの値が使用される。
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|
Q3 は大きな空調負荷となるため最小としなければならない。
しかし電子工業では排気が不可欠である。 もし将来、生産機器の増設があれば、あらかじめ別系統等で用意したほうがよい。 |
| ［例］ |
室面積
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100m²
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体 積
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300m³
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作業員
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10人
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排気量
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20m³/分
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Q1=30m³ h・人×10人=5m³/分
Q2=300m³×1回/h=5m³/分
Q3=20m³/分
※Q1＜Q2+Q3なのでQ1は除外する
Q=Q2＋Q3
=5m³/分+20m³/分
=25m³/分
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